人員或物品進入潔淨室之緩衝通道,設於潔淨室入口。利用高速潔淨氣流,經由高效過濾系統(HEPA)吹除人員或物品表面的微粒與灰塵,有效避免外部污染帶入潔淨區域,確保環境品質穩定。
空氣浴塵室
- 功能:氣鎖(Air Lock)、人員管制及高風速20~25cm/sec塵埃吹落帶走之功能。
- HEPA fifter效率99.99%(0.3µm粒徑)
- 噴嘴:12組。
- 吹風時間:可設定0~60sec。
- 電力需求:220v 3相 50/60Hz
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人員或物品進入潔淨室之緩衝通道,設於潔淨室入口。利用高速潔淨氣流,經由高效過濾系統(HEPA)吹除人員或物品表面的微粒與灰塵,有效避免外部污染帶入潔淨區域,確保環境品質穩定。